உயர் துல்லியமான இயந்திர பாகங்கள் என்றால் என்ன?

துல்லியமான இயந்திர பாகங்கள்ஒற்றை இலக்க மைக்ரான் வரம்பில் எந்திர சகிப்புத்தன்மையுடன் கூடிய பகுதிகளைப் பார்க்கவும், பொதுவாக சப்மிக்ரான் அல்லது நானோமீட்டர்-நிலை துல்லியமான எந்திர தொழில்நுட்பத்தை உள்ளடக்கியது. Ench இந்த எந்திர முறை பகுதிகளின் பரிமாண துல்லியம் மற்றும் மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை மிக உயர்ந்த தரத்தை பூர்த்தி செய்வதை உறுதி செய்ய முடியும், மேலும் மிக அதிக துல்லியமான மற்றும் சிக்கலான வடிவங்கள் தேவைப்படும் பகுதிகளின் உற்பத்திக்கு ஏற்றது. .

உயர் துல்லியமான இயந்திர பகுதிகளின் பண்புகள் பின்வருமாறு: ‌

உயர் பரிமாண துல்லியம்::உயர் துல்லியமான இயந்திர பகுதிகளின் பரிமாண துல்லியம் பொதுவாக ஒற்றை இலக்க மைக்ரான் அல்லது சப்மிக்ரான் வரம்பில் கூட இருக்கும். எடுத்துக்காட்டாக, அதி-துல்லியமான எந்திரத்தின் பரிமாண துல்லியம் 0.1μm‌ ஐ விட அதிகமாக உள்ளது. .

குறைந்த மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை::இன் மேற்பரப்பு கடினத்தன்மைஉயர் துல்லியமான இயந்திர பாகங்கள்மிகவும் குறைவாக உள்ளது, இது RA0.02 ~ 0.1μm அல்லது குறைவாக அடையலாம், அதாவது பகுதிகளின் மேற்பரப்பு மிகவும் மென்மையானது. .

பரவலாக பயன்படுத்தப்படுகிறது::உயர் துல்லியமான எந்திர தொழில்நுட்பம் விண்வெளி, துல்லிய கருவிகள், ஒளியியல் மற்றும் லேசர் தொழில்நுட்பத்தில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் உயர்தர ஆப்டிகல் அமைப்புகள் மற்றும் பிற உயர் துல்லியமான பகுதிகளை உருவாக்க முடியும். .

உயர் துல்லியமான எந்திரத்தை உணர்தல் உயர் துல்லியமான இயந்திர கருவிகள் மற்றும் மேம்பட்ட எந்திர தொழில்நுட்பத்தைப் பொறுத்தது. எடுத்துக்காட்டாக, அல்ட்ரா-துல்லியமான திருப்புமுனை தொழில்நுட்பம் 0.01 மைக்ரான்களுக்குள் மேற்பரப்பு கடினத்தன்மையைக் கட்டுப்படுத்த முடியும், இது நானோமீட்டர் மட்டத்தில் மட்டுமே இருக்கும் பொருளின் மேற்பரப்பில் சிகரங்களுக்கும் பள்ளத்தாக்குகளுக்கும் இடையிலான உயர வேறுபாட்டிற்கு சமம். கூடுதலாக, மைக்ரோ-நானோ செயலாக்க மையம் 10nm முதல் 100nm வரை துல்லியத்துடன், செயலாக்கத்தின் போது துல்லியமான நிலைப்படுத்தல் மற்றும் நிலையான செயல்பாட்டை உறுதிப்படுத்த அதிக துல்லியமான மற்றும் உயர்-பதில் நேரியல் மோட்டார்கள் மற்றும் ஒட்டுதல் பின்னூட்ட அமைப்புகளைப் பயன்படுத்துகிறது.